真空阀门在真空镀膜设备中的应用_真空阀门_球阀_蝶阀_挡板阀

真空阀门_球阀_蝶阀_挡板阀_真空隔膜阀- 浙江德美特阀门有限公司 2016-06-25 点击数:

本公司生产的真空阀是属于真空镀膜设备的控制阀领域。这种真空阀结构可分为：阀体、气缸和阀盖；阀体内为中空结构，阀体上设有真空容器连接口、低真空泵连接口和高真空泵连接口，真空容器连接口经阀体内与低真空泵连接口、高真空泵连接口连通；阀体上设置气缸，气缸与阀体连接处密封连接；气缸的气缸轴伸入到阀体内，气缸轴设有阀盖，阀盖朝向高真空泵连接口，能在气缸轴驱动下关闭或打开高真空泵连接口。该真空阀可同时连接低真空泵和高真空泵，可控制所连接的高真空泵通路的开通与关闭，以高真空泵来增大抽真空的抽速，从而对阀体所连接的真空镀膜设备的真空容器更快的抽真空，使其能更快的达到高真空状态。

在真空镀膜设备中，需注意会影响真空阀在使用状态的因素也有很多个方面：工作环境主要分为空气湿度和真空室清洁程度；工件的放气量；真空镀膜设备的抽气速度以及设备本身的保持真空的能力。因此，不管是在何种情况中使用阀门，真空阀的本身，还有设备的整体，还有整个真空室内的环境都有着不可缺少的紧密关系。